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<薄膜生產工藝技術>外延薄膜中的缺陷

本文檔由 精品庫 分享于2012-05-10 15:22

點缺陷:空位,間隙原子,替代雜質原子,間隙雜質原子線缺陷:刃型位錯,螺型位錯,層錯面缺陷: 孿晶界,小角晶界,共格晶界……金屬,半導體:不同的結構不同的特性表面點缺陷,表面線缺陷
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缺陷 薄膜 外延 間隙 空位 四面體
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